|
|
|
|
|
|
||
Интерферометрами называются приборы, в которых используется явление интерференции света для выполнения основной функции.
В контактных интерферометрах чувствительным элементом является измерительный стержень, связанный с оптической схемой. При подвижке стержня в поде зрения прибора изменяется интерференционная картина (смещение или наклон интерференционных полос). Эти приборы предназначены для относительных линейных измерений концевых мер. Большинство измерительных интерферометров построено по схеме, предложенной Майкельсоном.
Рис. 4.3.3.7-1
Свет от лампы через конденсор и щель попадает на разделительное зеркало. Часть света отразится, а часть проходит через него, проходит через компенсатор и отразившись от зеркала опять проходит компенсатор и отражается от зеркала и направляется в зрительную трубу. Отраженная часть пучка, отразившись от другого зеркала, также попадает в зрительную трубу. Обе части пучка встречаются с небольшой разностью хода и интерферируют. Интерференционная картина проектируется объективом зрительной трубы в плоскость сетки в виде полос равном толщины, которые рассматриваются через окуляр.
Нижнее зеркало жестко связано с измерительным штифтом и может перемещаться в вертикальном направлении, а верхнее может поворачиваться вокруг вертикальной оси, создавая тем самым клин, изменением преломляющего угла которого изменяется ширина интерференционных полос и тем самым меняется цена деления шкалы.
При наблюдении в белом свете наблюдаем черную полосу, по обоим сторонам которой убывающие по интенсивности цветные полосы.
В монохроматическом свете наблюдаем полосы одинаковой интенсивности. При перемещении нижнего зеркала полосы будут перемещаться вдоль шкалы.
Перед измерениями необходимо определить цену деления шкалы.
Если на участке шкалы в ?n? делений помещается "К" полос, то цена деления ?i? равна в мкм:
i=l∙К/2n,
если длина волны l в мкм.
Для получения определенной цены деления задаются величиной ?K? и поворотом зеркала устанавливают определеннее ?n?, т. е.
n =l∙К /2 i.
Вертикальный интерферометр ИКПВ имеет следующие характеристики:
| Цена деления шкалы /переменная/ | от 0,2 до 0.05 мкм |
| Увеличение микроскопа | 37,5х |
| Число делений шкалы | 100 / ± 50/ |
| Пределы перемещения измерительного стержня | 0,5мм |