|
|
|
|
|
|
||
В электронной оптике различают аберрации: сферическую, дисторсию, кривизну поля, астигматизм, кому и хроматические (положения и увеличения). Специфические аберрации вызываются пространственным зарядом и паразитными электрическими и магнитными полями. Для магнитных линз характерна также аберрация поворота изображения.
Принципиально устраняются аберрации, вызываемые технологическими причинами. К ним принадлежат хроматическая аберрация, вызываемая колебаниями напряжения и тока, а также аберрации, вызываемые внешними помехами и нарушениями симметрии при сборке. Чем меньше разброс скоростей электронов, то есть чем выше напряжение питания, тем меньше хроматическая аберрация. Кроме сферической и хроматической аберраций все остальные возникают вследствие того, что в создании изображения принимают участие электроны пучка с большой апертурой. Точки прохождения электронных траекторий в этих случаях уже не совпадают больше с точками изображения по Гауссу.
На практике приходится учитывать, например, в ЭОП, только сферическую и хроматическую аберрации и дисторсию, которая проявляется из-за значительных полей зрения.
К недостаткам электростатической фокусировки относятся большая кривизна поля изображения, что снижает разрешение на краях поля (рис.15); большая подушкообразная дисторсия. Однако электростатическая фокусировка не требует больших энергетических затрат, фокусирующая система невелика по размерам и массе.
В магнитных системах достигается большая равномерность качества изображения по полю, но труднее создать однородное поле по всему объему. Кроме того, такие системы обладают значительной массой, громоздки.
Использование комбинированной системы, состоящей из короткофокусной магнитной линзы, сжимающей электронный пучок, и электростатической системы фокусировки, позволяет улучшить качество изображения.